佳能發布FPD曝光設備“MPAsp-H1003T” ——實現2.0μm解析度對65英寸液晶面板的一次曝光

    日期:2018-10-11

           佳能將于2018年10月下旬起正式發售FPD(Flat Panel Display)曝光設備新品,型號為“MPAsp-H1003T”。該產品針對第8代玻璃基板尺寸※1研發,實現了運用2.0μm(L/S※2)的解析度對65英寸液晶面板進行一次曝光的技術。

    MPAsp-H1003T


           隨著平板電視的普及,今后的電視市場需求方向,將向以65英寸為主的大尺寸、搭載4K和8K技術的高精細化、以及以有機EL面板為代表的獲得Ultra HD Premium※3認證的高品質電視方向發展。新產品針對在電視機等液晶平板制造業中被廣泛使用的第8代玻璃基板所設計,使高品質65英寸液晶面板的能夠實現量產。


    實現運用2.0μm解析度對65英寸液晶面板的一次曝光

           佳能的FPD曝光設備采用了搭載“Mirror Projection”一次曝光技術的鏡面光學系統,通過大范圍曝光,實現了大型液晶面板的量產。通過新開發的鏡面光學系統與獨特的加工技術,新產品保持了與原機型“MPAsp-H803T”(2013年6月發售)相同的2.0μm(L/S)的解析度,并將一次曝光的范圍從最大58英寸進一步提升到了65英寸。因此,相比于舊機型,新產品對65英寸液晶面板的曝光單位時間縮短了約37%※4。


    套刻精度的提升

           隨著加工工藝的高精細化,套刻精度也變得愈加重要。影響套刻精度的最大因素就是加工工藝中的非線性成分(即形變成分),通過倍率補正技術對非線性成分的有效應對,并與多點同時校正系統配合,新機型的套刻精度相比以往機型提高了10%。


    雙曝光線布局進一步提升MMG生產效率

           通過對一臺的涂布顯影設備※5連接兩臺的FPD曝光設備的雙曝光線布局,提升了可在玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的MMG※6技術的生產效率。新產品還可以與舊機型“MPAsp-H803T”配合,能使其在不影響現有第8代生產線產能的前提下實現搭配量產。

    ※1 2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板主要運用在電視機的液晶面板制造上。
    ※2 Line and Space的略寫。
    ※3 為制定Ultra High Definition平臺的統一標準,設立了UHD聯盟。Ultra HD Premium認證授予滿足該聯盟制定的所有標準的顯示設備。
    ※4 在第8代玻璃基板上,曝光三片65英寸面板的單位時間比較。
    ※5  曝光前將光刻膠涂在玻璃基板的表面上,曝光后再將其浸沒于顯影液中來去除多余光刻膠的設備。
    ※6  Multi Module on Glass的略寫。在一張玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的技術。可提高玻璃基板的使用效率。

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